據(jù)外媒報道,光刻機霸主ASML(阿斯麥)已經(jīng)開始出貨新品Twinscan NXT:2000i DUV(NXT:2000i雙工件臺深紫外光刻機),可用于7nm和5nm節(jié)點。
快科技 2018/08/03 09:10 5nm NXT2000i 出貨
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